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用途:
多功能测量显微镜采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于电子行业,超机械精加工。用来测量电子线路的宽度和精细小工件的几何尺寸,以及其它精密零件测量。广泛地适用于计量室,生产作业线以及科学研究等部门。
本仪器是无穷远光学系统,配置高数值孔径物镜,且采用高精度的工作平台,可选配日本Mitutoyo的高精密数显测微头。从而保证仪器的高精度性,是一种理想的多用途的小型精密测量仪器。操作方便,可靠性强。仪器放大倍数高,工作台具有X,Y直角坐标系坐标的和0点极坐标系,玻璃工作台可以360°的旋转。107JA亦可以进行垂直高度的测量。照明系统除作透、反射照明外,还可作斜光线照明。
本仪器不仅可以做为测量仪器使用,还可以用作不透明物体的观察与测量。是一台综合型的测量仪器。 并具有明暗场,微分干涉,FA测量等扩展功能,适用范围更广。
主要技术参数:
镜筒 | 头部 | 三目,30˚倾斜, 可100%通光摄影 | |
粗 动 | 立杆调节80mm,调节范围30mm | ||
微动 | 每旋转一周1mm | ||
高(Z轴)测量 | 10~25mm(可选) 1mmZui小读数0.001mm(干分表读数) | ||
工作台 | 尺寸 | 工作台160*160mm | |
左右(X轴) | 移动范围50mm | ||
前后(Y轴) | 移动范围50mm | ||
测量分度值 | 0.5um | ||
玻璃工作台 | 360°旋转,分度值1° | ||
手轮 | 数显 | XY数显解析度0.001 | |
普通 | 手轮读数0.01mm(定制0.005), | ||
光学系统 | 目镜 | WF 10X/22mm | |
无穷远平场长工作距离物镜 | PL5X 工作距离:26.1mm | ||
PL10X 工作距离:20.2mm | |||
PL 20X 工作距离:8.80 mm | |||
PL40X 工作距离:3.68mm | |||
其它 | 滤色片 | 蓝、绿、黄、磨砂 | |
正交偏光 | 透反射机型中配有 | ||
照明系统 | 光源 | 透射照明 | LED光源蓝、绿滤色片 |
反射照明 | 12V50W 磨砂灯泡绿色滤色片 | ||
电源 | AC 220V±10% 50/60HZ |
选购件:
1,十字/带尺分划目镜。
2,PL50X PL60X PL80X PL100X物镜(DIC暂且除外)。
3,0.5X适配镜。
4,三丰数显手轮或光栅及数显/屏显。
5,500万或者1000万工业摄像头;610万工业CCD。
6,相关应用软件。