PI高负荷压电线性马达

2016-04-22新闻资讯

    PI (Physik Instrumente)推出新型高负荷压电线性马达N-216 NEXLINE。这些高精度纳米定位马达移动范围可达20mm,推/拉力为600N。它依靠预装在陶瓷轨道上的线性压电元件的协同运动来进行操控。

优势及特性

    全陶瓷驱动,超长寿命,无需润滑油

    直接式线性运动,无转动翻转

    无磁性,可适应真空超净室工作环境需求

    高支持力,可达到800N(关机无热量生成)

    行程20mm

    精度可达0.03nm(30皮米)

    休息状态下自动锁定,无热量生成

非常可靠,无限制的寿命

NEXLINE 压电驱动适用于多种高端应用要求——从超精密制造业,半导体测试仪,到天文学及高能物理的应用。NEXLINE尤其适合于在对寿命稳定性,精度及拉力要求极高的应用。NEXLINE绝佳的可靠性使它成为需纳米尺度调节和/或减震等高难度应用的理想工具。为了延长寿命,马达的控制器可将压电元件上的电压降低到零,这一过程可在任意位置实验,并且不会对支持力产生影响。

支持多种操作模式

压电陶瓷钳等元件直接在轨道上运动。为达到最大速率及长距离移动的要求,可设置全步模式,对于需高度一致性运动及持续速率的实验,可选择纳米步进模式;另外,NEXLINE还提供高动态模拟控制模式,它结合了长行程及压电级精度,最大行程为6µm。

开环控制&闭环控制

N-216线性马达有两种控制模式——开环控制,闭环控制;同时,也有两证负载配置。闭环模式具有线性编码器,用于工作轮位置的直接测量。编码器的精度为5nm。开环模式中,使用模拟控制模式,定位精度可达0.03nm。