
CW2010-ZFA裂像显微镜技术参数
主要技术参数:
1. 镜筒:铰链式三目头部 30°倾斜 270°旋转
2. 高眼点平场目镜: WF10X/22
3. 平场复消色差物镜:(可根据使用需求选择不同倍率的物镜)
f=200mm用全平场复消色差物镜/M Plan APO | ||||||
物镜数据 | ||||||
倍率 | 2X | *5X | *10X | *20X | 50X | 100X |
NA | 0.055 | 0.14 | 0.28 | 0.42 | 0.55 | 0.55 |
W.D(mm) | 34 | 34 | 33.5 | 20 | 13 | 13 |
焦点距离(mm) | 100 | 40 | 20 | 10 | 4 | 2 |
分解率(µm) | 5 | 2 | 1 | 0.7 | 0.5 | 0.5 |
焦深(µm) | 91 | 14 | 3.58 | 1.6 | 0.9 | 0.9 |
注: 带*号的为标配物镜
4. 水平转换器:五孔转换器,可对每个转换口进行调焦和调中,以消除物镜和转换器的制造误差,保证测量精度。(本项已申请专利)
5. 落射式照明系统: 高亮度LED灯(5W)
6. 调焦结构:粗微动同轴调焦, 带锁紧和限位装置,
粗动升降范围30mm,微动格值,0.001mm*100格,数显解析值 0.0005mm。
7. 透射光源:LED光源,1W,亮度可调
8. Z轴升降范围:38mm以内,手轮转动130mm 允许Zui高工件 130mm, 导轨精度3+L/1000 um
X轴移动范围:200mm 解析率:0.001mm 可解锁手动快进,
Y 轴移动范围:100mm 解析率:0.001mm 可解锁手动快进,
测量精度(3+L/100)um (L: 被测长度,um)
落射光测量误差≤0.08%
9.Z轴采用裂像法原理进行观察测量,结合精密的Z轴导轨,可有效保证测量的准确度。
10.工作台尺寸: 360mm*250mm 玻璃板尺寸: 225mm *175mm 工作台承重: 30kg
11.仪器外型尺寸:380mm*550mm*830mm
12.净重:100kg 毛重:120kg