电子显微镜的认识之旅

2016-05-27新闻资讯

浅谈对电子显微镜的认识

1932年鲁斯卡发明创制了第一台透射电子显微镜实验装置(TEM)。随后扫描透射电子显微镜(STEM)、扫描电子显微镜(SEM)以及上述产品与X射线分析系统(EDS、WDS)的结合,即各种不同类型分析型电子显微镜相继问世。
1986年,宾尼格和罗雷尔先后研制成功扫描隧道电子显微镜(STM)和原于力电子显微镜(AFM),使人类的视野得到进一步的扩展。
透射电子显微镜基本原理及构造
透射电镜基本构造与光学显微镜相似,主要由光源、物镜和投影镜三部分组成,只不过用电子束代替光束,用磁透镜代替玻璃透镜。光源由电子枪和一或两个聚光镜组成,其作用是得到具有确定能量的高亮度的聚焦电子束。电镜的成像光路上除了物镜和投影镜外,还增加了中间镜,即组成了一个三级放大成像系统。

浅谈对电子显微镜的认识

物镜和投影镜的放大倍数一般为100,中间镜的放大倍数可调,为0~20。中间镜的物平面与物镜的像平面重合,在此平面装有一可变的光阔,称为选区光阑。荧光屏、光学观察放大镜及照相机等组成观察系统。
电子显微镜构造有以下两个特点:
1)磁透镜
2) 因为空气会便电子强烈地散射,所以凡有电子运行的部分都要求处于高真空,要达到1.33×10~4Pa或更高。
光学显微镜中的玻璃透镜不能用于电镜,因为它们没有聚焦成像的能力,是“不透明”的。电流通过线圈时出现磁力线和南北极。
由于电子带电,会与磁力线相互作用,而使电子束在线圈的下方聚焦。只要改变线圈的励磁电流,就可以使电镜的放大倍数连续变化。为了使磁场更集中在线周内部也包有软铁制成的包铁,称为极靴化,极靴磁透镜磁场被集中在上下极靴间的小空间内,磁场强度进一步提高。